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炉内热场设计相关论文
直拉单晶炉的热场节能改造
本论文涉及直拉单晶炉,炉内热场设计,以及热场模拟。通过对热场部件:炉底盘及外导流筒重新设计并且通过热场模拟软件验证效果后,展开实......
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直拉单晶炉
炉内热场设计
节能改造
外导流筒
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