直拉单晶炉相关论文
本论文涉及直拉单晶炉，炉内热场设计，以及热场模拟。通过对热场部件：炉底盘及外导流筒重新设计并且通过热场模拟软件验证效果后，展开实......
直拉单晶硅是半导体和太阳能行业的最基础的材料。随着半导体和太阳能技术的飞速发展，对单晶硅材料制造业也提出了更高的要求。单晶......
晶体生长的主要目的是生长出外形均匀且内部品质满足要求的单晶体。在直拉法晶体生长过程中,主要是通过调节提拉速度和加热器温度......
直拉单晶炉生长过程中炉膛内真空度的高稳定性对硅单晶正常生长起到很重要的作用。本文分析了引起直拉单晶炉生长过程中炉膛内真空......
分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的......
介绍了谐波的产生原理及对直拉单晶炉电源的影响和危害，安装一种滤波器，提高了供电质量，满足了设备的热场要求，并通过检测仪器得到了验......
通过对C/C复合材料力学性、断裂性、导热性、热弯曲强度、氧化性及烧蚀性几方面性能进行详细归纳,总结出其具有其他材料不可替代的......
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平......
本文介绍了直拉单晶炉循环冷却水系统，对影响循环冷却水质的因素进行了分析，论述了控制循环水水质的一种方法，并对控制效果进行了说明......
介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异。通过在单晶炉上的实验应用,证明了碳/......
