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激光聚焦光斑形状对溅射产物角分布的影响
讨论了将线形聚焦光斑看作是点溅射的线性迭加时,对衬底平面上溅射产物角分布影响的推导,推导结果间接证明了溅射产物中粒子之间有......
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激光聚焦光斑
激光溅射
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点溅射
线性迭加
脉冲激光沉积
pulsed laser deposition angle distribution fun
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