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烧蚀沉积相关论文
直流偏压对脉冲激光烧蚀沉积非晶碳膜的影响
在不同的负直流衬底偏压下,用脉冲激光沉积法在单晶Si和K9玻璃衬底上沉积水晶碳膜.用扫描电镜观察膜的表面形貌;用椭偏法测量沉积......
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非晶碳膜
激光烧蚀
CarbonDepositionLaser ablationRaman scatteringScanning
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