热丝气相沉积相关论文
本文以甲烷和氢气为原料，采用热丝气相沉积(HFCVD)法在YG6硬质合金基体上沉积了金刚石膜。通过扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)研究......
金刚石涂层的应用可显著提升刀具使用寿命。文章采用钽丝为热丝,氢气、甲烷为反应气体,通过热丝气相沉积法在不同甲烷浓度下对硬质......
采用热丝化学气相沉积（HWCVD）和射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）相结合的技术,在普通载玻片和聚酰亚胺衬底上沉积制备微晶硅薄膜。......
