片簧支承相关论文
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械－ＬＶＤＴ－信号处理－计算机控制的方案，使用方便，实现了台阶的自动测量......
在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片簧弹性支承的测量机构，建立了数......
接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的。本文介绍了依靠十字片簧弹性支天变形来提供测量力的测量机构，在分析其动态特性......
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