球面面形相关论文
为了抑制环境振动引入的测量误差,实现对球面光学元件面形的动态检测,提出了一种基于微偏振片阵列的反射式针孔点衍射干涉系统.该......
为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测......
随着光学行业以及高分辨率的投影光刻系统、遥感等技术的发展,对光学元件表面面形地检测精度,特别是高精度球面面形检测精度要求越......
随着光刻、遥感等技术的发展对光学元件检测精度有了更高的要求。在现行的光学系统中,球面光学元件依然占最重要的地位,因此提高球......
随着光学行业以及相关技术领域的发展,光学表面面形的检测精度需求也越来越高。球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从......