电化学纳米加工相关论文
由于电化学加工技术没有工具磨损,没有残余应力,没有表面和表面损伤以及热效应,因此它在先进生产领域中具有不可或缺的作用。面对集成......
为满足对纳米精度的大面积平坦化和批量加工复杂三维纳米结构的需求,本论文从原理创新发展了一种电化学纳米加工方法,其核心在于利用......
由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电......