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电子电迁移相关论文
沟槽填充的动力学晶格蒙特卡罗模拟
随着超大规模集成电路中电子器件尺寸的减小和单位面积器件密度的增加,导致电子器件尺寸的收缩,金属导线变得更长和更窄了,电子电迁移......
学位
超大规模集成电路
沟槽填充
动力学晶格
蒙特卡罗模拟
电子电迁移
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