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界面过度层相关论文

低温生长金刚石薄膜及其界面结构X-射线衍射研究

采用X-射线衍射(包括小角度衍射方法)研究了低温气相生长金刚石薄膜和单晶硅衬底之间的界面过度层。发现在较高温度下(700℃)过渡......

期刊

金刚石薄膜 X-射线衍射界面结构过渡层低温生长低温沉积沉积温度界面过度层硅衬底衍射方法

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