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直流磁空溅射相关论文
直流磁控溅射工艺对SmCo薄膜的影响
采用不同的直流磁控溅射工艺, 制备了SmCo薄膜.分别用能谱(EDAX)和俄歇谱仪(ASE)对薄膜的平均成份和表面到内部成份分布进行了分析......
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