真空阴极电弧相关论文
研发出阴极柱状电弧建立可控有限长度弧斑区、和弧斑区整体移动方向与速度的可控的新技术,大幅降低了电弧辐射热和以镀件间歇受热......
在本文中,我们利用真空阴极弧沉积技术在硅烷、氮气和氩气的混合气氛下成功制备了纳米复合Ti—Si—N薄膜。重点探讨了硅烷流量对薄......
Carbon nitride films have been synthesized in a wide range of biases from 0 to -900 V by vacuum cathodic arc method. The......