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真空微电子器件中的场致发射阴极硅锥尖的制备工艺研究
本文介绍了真空微电子器件中的场发射阴极硅锥尖的制作工艺,采用不同的腐蚀方法以及氧化削尖技术,制成了形状较好的硅尖,并对实验研究......
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