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硅晶体氧含量相关论文

晶体氧含量与硅单品直拉工艺关系的研究

单晶硅氧含量的高低，直接影响其OSF缺陷、单晶硅电池的衰减系数、效率。直拉单晶工艺使用的石英埚和硅熔液的反应，决定了直拉单晶硅......

期刊

硅晶体氧含量计算机仿真坩埚转速坩埚位置氩气流量

晶体氧含量与硅单晶直拉工艺关系的研究

摘要：单晶硅氧含量的高低，直接影响其OSF缺陷、单晶硅电池的衰减系数、效率[1]。直拉单晶工艺使用的石英埚和硅熔液的反应，决定了直......

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