硅硼碳氮陶瓷相关论文
采用前驱体分子结构设计的方法,通过氨解、硼氢化反应制备聚硼硅氮烷(PBSZ)。以氯化锆为锆源,通过锆/锂取代反应将锆原子引入PBSZ......
本文针对制备SiBCN陶瓷所用的SiCl3CH3-BCl3-NH3-H2体系,基于已建立的热化学数据库,根据化学平衡原理,确定了不同工艺参数下各反应体......
本文采用基于量子力学的理论方法计算获得了Si-B-C-N-H-CI体系CVD过程中所有气相产物的热力学数据,包括分子在298.15K~2000K的标准摩......