硅锥阴极相关论文
该课题的理论部分,用数值模拟方法研究硅锥阴极内部物理状诚及其对场致发射特性的影响,并在此基础上对锥阴极进行合理设计,在实验......
本文简略介绍了硅锥阴极场致发光显示器件的工作原理、总体设计思路、简要工艺流程、工艺规范等内容.......
引入半导体器件数值模拟的方法，即求解漂移－扩散模型为基础的半导体基本方程，对硅锥阴极中载流子的输运过程进行了数值模拟。这一方法......
本文介绍了利用半导体硅材料制作的真空微电子器件的核心部件,场致发射硅锥阴极,的工艺研究及实验结果。提出了两步腐蚀的工艺方案......
