磁过滤阴极弧相关论文
在钛系化合物薄膜中，TiN、TiC涂层具有优良的力学性能，作为硬质耐磨涂层，已广泛应用于切削刀具、钻头和模具等场合。由它们构成的多层......
本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的,在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中,获得了DLC膜和梯度复合DLC......
论文研究了采用四靶闭合场非平衡磁控溅射（CFUBMS）技术获得Cr Ti Al N化合物涂层的偏压、溅射功率和气压等各种工艺参数和条件,以及......
期刊
本文研究了磁过滤阴极弧技术中抑制大颗粒和降低ta-C薄膜残余应力的关键技术,并在316L不锈钢和硅(100)表面制备一系列以钛为过渡层......
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