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磷-空位对相关论文

硅中硼磷的横向扩散及其引起的CMOS LSI失效问题

实验发现,硼磷通过掩膜窗口向硅中扩散时,横向与纵向扩散深度之比 y_j/x_j 不是一个常数,而是随扩散温度的降低增大。此外,对于硼......

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扩散横向扩散横向与纵向扩散深度之比磷-空位对硅自填隙原子空位机理填隙机理

关于硅中硼磷扩散的微观机理的讨论

本文从硅中硼磷扩散的宏观特性出发,介绍近几年来为解释这种扩散的宏观特性而提出的几种扩散机理模型,并对此作初浅的讨论。......

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扩散微观机理模型磷-空位对硅自填隙原子空位机理填隙机理

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