离子镀膜机相关论文
LDSX-1100光学反应离子镀膜机北京仪器厂真空技术研究所唐惠平北京仪器厂研制开发的LDSX—1100光学反应离子镀膜机,于今年9月经厂质量检验,各项技术性能......
在研制的大弧源多弧离子镀膜机内进行了沉积氮化钛工艺试验,研究了源施加磁控与否氮分压基板偏压和形成氮化钛时工件温度等工艺参数......
【正】 主要技术指标 1.用途:在各种金属和非金属表面上、如不锈钢、铝、(如硬铝)、电镀后的铜、铁、锌、铝合金以及陶瓷、玻璃等,......
多弧离子镀设备蒸发源的电弧放电受外加磁场的严格控制,靶面处不同的磁场分布 具有不同的电弧放电形貌,这样,靶面处磁场强度的计算显......