离面运动相关论文
数字图像相关技术(DIC)自上个世纪八十年代提出以来,由于其具有非接触、全场测量、实验操作简单等众多优点,目前已经广泛应用于......
本文结合频闪成像技术和相移显微干涉技术,建立了MEMS-DMs静态及离面运动测试系统,提出新的用于恢复离面运动信息的双向相位展开算法......
数字图像相关(DIC)技术本质上是一种图像处理技术,除了具有非接触、全场测量的能力外,它还具有一些特有的优点,如:实验装置简单、......
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微......
期刊
为了测量微结构离面(Out-of-plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统,首先采集微结构运动周期内不......
为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放......
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微......
微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位.提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法.该系......
提出一种基于傅里叶变换的频闪显微干涉测试方法,对微谐振器和微悬臂梁的离面运动进行测试研究。微结构受激励产生周期离面运动,单......