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等离子体辅助退火相关论文
等离子体辅助铝诱导纳米硅制备多晶硅的研究
以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al叠层结构,置入管式退火炉中进行等离子体辅助退火。样品......
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等离子体辅助退火
铝诱导
纳米硅
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