纳米位移台相关论文
精密定位技术作为微观领域研究的关键技术之一,其技术水平直接影响到微观领域的研究水平。微行程精密定位技术虽然发展得比较成熟,......
半导体行业发展迅猛,已步入纳米时代,对掩膜版线宽进行精确测量并将其测量值溯源至国际长度基准的问题急需解决。针对这一问题,中......
随着半导体工业技术的发展,集成电路芯片上能够容纳元器件的数目越来越多,根据摩尔定律,芯片上器件的尺寸必然会不断减小,导致线宽......
学位
随着微/纳米科学技术的发展，纳米级定位技术已成为纳米科学技术领域的一项关键技术，对纳米位移台的多自由度测量和校准提出了迫切的......
针对计量型扫描电镜成像方法的特殊需求,提出了一种新型的纳米位移台扫描运动控制方法。利用乘法DA控制方法实现了纳米位移台驱动......
搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统，对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究。介绍了双频激光干涉......
研制了压电陶瓷（PZT）驱动叠加柔性铰链运动机构的二维纳米位移台。介绍了位移系统的结构并分析了位移系统的工作位移刚度，理论和仿真......
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