纳米分辨力相关论文
本文根据“二元光学激光直接写入设备”课题的需要，对一种纳米分辨力微位移机构进行了研究。 通过查阅大量相关文献资料，提出了以......
在利用干涉仪对光学元件进行高精度面形检测时,需要对标准具进行多维调整,现有的调整架多为手动调整,效率比较低,并且分辨力低。针......
针对传统超精密定位系统存在位移灵敏度、系统频响及重复定位精度难以兼顾的问题,设计并研制了一种具有纳米分辨力的二维超精密定......
在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为......
