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纳米压印抗蚀剂相关论文
含硅乙烯基醚单体的合成及光聚合性能研究
纳米压印技术是继193nm光刻技术之后最有产业化竞争力的超大规模集成电路加工技术。目前,纳米压印抗蚀剂的研究主要有三个体系:自......
学位
含硅乙烯基醚单体
阳离子光聚合反应
取代反应
纳米压印抗蚀剂
热稳定性
光聚合性能
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