纳米多晶硅相关硕士博士期刊学术论文

本文针对P型SiC欧姆接触在高温应用时的可靠性问题，结合欧姆接触的量子隧穿形成机制，提出了用Al／多晶硅复合层结构作为P型SiC外延层的......