纳米硅阵列相关论文
纳米硅(nc-Si)薄膜,作为半导体材料中的重要一员,其制备方法及性能研究已成为国际上的热点之一。基于nc-Si材料的纳电子与光电子器件......
利用胶体小球掩蔽刻蚀技术,制备了单晶硅纳米阵列,利用原子力显微镜观察了硅阵列的表面形貌,实验结果表明,硅柱阵列具有高密度和较好的......