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ITO靶材溅射结瘤行为研究
本研究采用具有较高相对密度(97%以上)的ITO靶材作样品,进行磁控溅射毒化实验;利用X-射线衍射(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)、扫描......
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铟锡氧化物薄膜
磁控溅射
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