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薄层空气热传导相关论文

Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器

针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。......

期刊

电热微驱动器薄层空气热传导 Cu牺牲层非硅表面微加工微机电系统 micro electro-thermal actuator thin air layer

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