电热微驱动器相关论文
自锁型2×2和1×4光开关是在{10}硅基片上采用各向异性湿刻蚀工艺技术在KOH中制备的微机械光开关。这种制各方法可以低成本一次投......
鉴于电热微驱动器具有输出力矩大、驱动电压低、适合微型化、易集成制造等优点,本文首先提出两类电热微驱动器结构,并在仿真优化的......
很多MEMS器件中都要用到电热微驱动器,电热微驱动的工作原理通常是:利用电阻发热使温度升高随后产生热膨胀,产生的输出力和输出位......
微驱动器是微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能......
随着电子产品的小型化和系统功能的集成化,微型驱动器获得了巨大的市场潜力并拥有广阔的应用前景。众多微驱动器中,电热微驱动器具......
近年来，随着微机电系统技术的不断发展，微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统继......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上，通过引入热膨胀系数更大的聚合物，提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析......
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应，采用聚合物SU-8胶和金属镍作为功能材料和结构材料，铜为牺牲层材料......
介绍了一种单刀双掷面内电热微驱动器。基于U型梁受热膨胀的原理,在电压作用下梁受热变形,推动接触电极和信号电极接触,进而输出信......
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。......
该文介绍了一种双层膜的电热微驱动器。根据高等数学和材料力学可求得偏置层结构末端的位移公式,进而验证了采用镍作为偏置层材料......
设计了一种电热微驱动器,根据几何关系、泰勒公式和材料力学求得偏置层结构末端的位移公式,并验证了采用镍作为偏置层材料的合理性......
近年来,随着微机电系统技术的不断发展,微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统......
用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术.该工艺具有工艺流程简单......
