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一种新型真空场发射晶体管的研究
本文提出了一种新型的真空场发射晶体管(VFET),这种新型真空晶体管具有纳米尺度的真空沟道,以真空为载流子传输介质,器件工作时电子以......
会议
真空晶体管
场发射
纳米沟道
表面传导电子发射源
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