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超低压化学汽相淀积相关论文
光辅助超高真空CVD系统制备SiGe异质结双极晶体管研究
介绍了采用紫外光化学汽相淀积(UVCVD)、超高真空化学汽相淀积 (UHVCVD)和超低压化学汽相淀积 (ULPCVD)技术研制的化学汽相淀积 (C......
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