超高真空CVD相关论文
Si基光电子集成采用成熟价廉的微电子加工工艺,将光学器件与多种功能的微电子电路集成,是实现光通信普及发展的有效途径。Si基OEIC(O......
利用UHV/CVD技术,在较低的温度下,在阳极氧化形成的双层多孔硅上,成功地生长了单晶性好、厚度均匀、电阻率分布合适的硅单晶外延层。这......
SiGeC三元合金成为近年来人们研究的热点之一。处于替代位置的碳可以缓解SiGe合金的应变,同时调节其能带,在能带工程上提供了更大......
利用UHV/CVD技术,在较低的温度下,在阳极氧化形成的双层多孔硅上,成功地生长了单晶性好、厚度均匀、电阻率分布合适的硅单晶外延层。这为进一......