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选择性注入集电极相关论文
高速双极晶体管工艺条件的优化研究
报道了一种使用深槽隔离和注入基区及快速热退火(RTA),同时为发射极扩散和Ti硅化物退火的双层多晶硅双极技术.对内基区注入、选择......
期刊
双极晶体管
深槽隔离
选择性注入集电极
快速热退火
Bipolar transistor Trench isolation Selectively implan
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