金属辅助化学腐蚀相关论文
本文采用两步Ag/Cu双原子金属辅助化学腐蚀(MACE)法,在25℃和50℃单晶硅表面制备纳米陷光结构.实验探讨了刻蚀时间和Ag/Cu原子的摩......
为了获得大高宽比的硅纳米结构,结合电子束光刻和等离子刻蚀方法制备厚度为5 nm/20 nm的Ti/Au微纳结构,然后以氢氟酸、去离子水和......
硅材料作为一种神奇的材料,在微电子器件中得到广泛的应用,极大地推动了信息技术的迅速发展。随着硅电子器件有源区的特征尺寸缩小......
热电器件可以利用固体内部载流子的运动，实现热能和电能的直接相互转换。有研究报道表明Si纳米线具有很好的热电特性。Si作为半导体......
近年来金属辅助化学腐蚀法制备多孔硅逐渐成为研究热点,但该方法存在金属颗粒易团聚、引入模板辅助刻蚀成本高昂等突出问题。为了......
在硅片表面制备绒面结构能够有效降低太阳光在硅片表面的反射损失，是提高太阳能电池转换效率的一条重要途径。通过真空热蒸发法在多......
采用银金属辅助化学腐蚀技术在多晶硅衬底上制备了黑硅绒面,通过能谱仪、扫描电子显微镜和反射率测试仪对所制备黑硅样品的表面银......
利用二次氧化法制备了高度有序的多孔阳极氧化铝膜,以此膜为模板通过磁控溅射制备了多孔有序的Pt/Ag双层金属薄膜,将此金属薄膜转......
用一种低成本的方法制备出了树形结构Si/ZnO纳米线阵列。首先在室温条件下用金属辅助化学腐蚀法在Si（100）衬底上制备了Si纳米线阵列,......
