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钛-硼-氮相关论文
非晶态Ti—B—N薄膜的制备及晶化研究
采用双靶轮流溅射技术,以Ti和六方氮化硼反应合成了Ti-B-N薄膜,并采用XRD,TEM和显微硬度计研究薄膜的微结构及其力学性能。结果表明,镀态Ti-B-N薄膜为非晶体......
期刊
多靶磁控溅射
晶化
钛-硼-氮
薄膜制备
TiBN filmsmultitarget magnetron sputteringcrystallization
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