多靶磁控溅射相关论文
自从“多主元高熵合金(HEA)”的设计理念被提出后,一些学者开始研究多主元碳氮化合物薄膜。由于薄膜中存在碳碳共价键、碳化物和氮......
利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜.研究了在保持Au单层颗粒膜沉积时间一定时薄膜厚度一定、变化......
采用多靶轮流溅射技术,用Ti和六方氮化硼反应合成了Ti-B-N薄膜,采用XRD,TEM和显微硬度计研究了薄膜的的微结构及其力学性能。结果表明,室温下沉积的Ti-B-N薄......
目的研究LiFePO4/C多层膜在不同的调制周期下的电化学性能。方法采用多靶磁控溅射方法,在304不锈钢基底上,先沉积10nmTi薄膜作为阻......
采用双靶轮流溅射技术,以Ti和六方氮化硼反应合成了Ti-B-N薄膜,并采用XRD,TEM和显微硬度计研究薄膜的微结构及其力学性能。结果表明,镀态Ti-B-N薄膜为非晶体......