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自制溅射负离子源电离器的材料,结构,制作及使用情况
介绍自制溅射型负离子源及其关键部件——电离器的材料、结构、制作及使用情况。得到碳束C~-总流强】780μA,硅束Si-250μA.此电离......
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溅射负离子源
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钽同轴线
离子源
Sputter negative ion source Ionizer Tantalum coaxial line
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