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本文用直流磁控溅射法在CrNi3Mo炮钢基体上分别镀覆铬、钽及铌薄膜，并对不同沉积参数下的膜层表面形貌、结构及硬度、摩擦磨损性......
目的研究电弧离子沉积钽膜的沉积工艺及微观结构,分析钽膜生长机理。方法采用电弧离子沉积法在石墨基体上沉积钽膜,研究了沉积工艺......
涂层钛阳极在使用中会因氧化而失效.为了开发新型的涂层钛阳极,进行了磁控溅射钽作钛阳极底层的研究.通过改变溅射功率、氩气压力......
