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铁氧体衬底相关论文
矩形铁氧体衬底抗蚀剂的旋涂特性
采用半导体工艺的旋转涂胶法,在矩形铁氧体衬底上旋涂抗蚀剂,研究了其涂覆特性,给出了抗蚀剂的厚度与旋涂转速和旋涂时间的关系曲线及......
期刊
铁氧体衬底
光刻
抗蚀剂
旋涂
ferrite substrate
photolithograph
resist
spin-coating
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