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铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一，本文着重介绍了“128×128”混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)......
着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连......
