锑化铟-铟薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

锑化铟-铟薄膜相关论文

CCl2F2等离子体干法刻蚀InSb—In薄膜的研究

用朗缪尔探针诊断了反应室内的等离子体密度,研究了CCl2F2等离子体对InSb-In薄膜的刻蚀,结果表明该实验装置能够产生高密度等离子......

期刊

等离子体干法刻蚀锑化铟-铟薄膜 CCl2F2 InSb-In薄膜磁传感器 plasma dry etching sample InSb-In thi

看过本文同时还关注