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含纳米锗粒二氧化硅薄膜的光致发光研究
以锗二氧化硅(GSO)复合靶作为溅射靶,改变靶上锗与总靶面积比为0%,5%和10%,用射频磁控溅射方法在p型硅衬底上淀积了含锗量不同的三种二氧化硅薄膜......
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马书懿
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