马书懿相关硕士博士期刊学术论文

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以锗二氧化硅（ＧＳＯ）复合靶作为溅射靶，改变靶上锗与总靶面积比为０％，５％和１０％，用射频磁控溅射方法在ｐ型硅衬底上淀积了含锗量不同的三种二氧化硅薄膜......

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