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MEMS封装-器件协同设计方法的研究
由于微电子机械系统(MEMS,Microelectromechanical Systems)器件结构可动,对应力敏感,因此受环境影响大。尤其器件和封装间的结构耦合对......
学位
微电子机械系统
封装效应
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