镍铬合金(NiCr)薄膜是一种重要的微电子工业材料,因其较小的电阻-温度系数(Temperature coefficient of resistance,TCR)而在集成......

镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料。简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;......

目的 研究本底真空对溅射镍铬合金薄膜性能的影响。方法 在不同溅射时间下制备了不同厚度的镍铬合金薄膜,采用4、6、8、10 h不同的......