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阳极层线性离子源相关论文
正交电磁场离子源及其在PVD法制备硬质涂层中的应用
离子源是离子束产生的关键部件,正交电磁场离子源是以霍尔电流为理论基础的一类低能离子源.本文综述了考夫曼离子源、霍尔离子源以......
期刊
考夫曼离子源
霍尔离子源
阳极层线性离子源
PVD
外部等离子体辅助磁控溅射低温沉积氮化钛薄膜的研究
磁控溅射具有沉积速率高及基片温升低的特点,在真空镀膜领域有着广泛的应用。而外部等离子体辅助磁控溅射技术具有比常规磁控溅射......
学位
阳极层线性离子源
射频
磁控溅射
低温
氮化钛
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