阳极层线性离子源相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

阳极层线性离子源相关论文

正交电磁场离子源及其在PVD法制备硬质涂层中的应用

离子源是离子束产生的关键部件,正交电磁场离子源是以霍尔电流为理论基础的一类低能离子源.本文综述了考夫曼离子源、霍尔离子源以......

期刊

考夫曼离子源霍尔离子源阳极层线性离子源 PVD

外部等离子体辅助磁控溅射低温沉积氮化钛薄膜的研究

磁控溅射具有沉积速率高及基片温升低的特点,在真空镀膜领域有着广泛的应用。而外部等离子体辅助磁控溅射技术具有比常规磁控溅射......

学位

阳极层线性离子源射频磁控溅射低温氮化钛

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