考夫曼离子源相关论文
本文针对φ30考夫曼离子源的设计实例的问题及其改进措施进行了探讨.首先分析了离子源的主要参数,并简述了考夫曼离子源的工作......
254nm的紫外光源广泛应用于环保、医学、化工、印刷、公安、考古等部门和领域。根据紫外光学系统的设计要求,在K9基底上研制了254n......
本论文主要研究采用离子辅助法制备Ge1-xCx薄膜，以及基于Ge1-xCx薄膜的红外增透保护膜的设计和制备。
随着战斗机和导弹的发展......
论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点。在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流。采......
离子源是离子束产生的关键部件,正交电磁场离子源是以霍尔电流为理论基础的一类低能离子源.本文综述了考夫曼离子源、霍尔离子源以......
本文依据金属的索未菲自由电子模型的量子统计理论结果，对提高考夫曼型离子源束流密度进行了研究，取得了一些有价值的结果。......
<正> 近十年来,我国采用离子束刻蚀进行微细加工以及离子束辅助镀膜在电子和光学工业中获得了广泛应用。采用离子束增强镀膜制造超......
综述了制备深亚微米/纳米CMOS器件的离子蚀刻新技术:考夫曼(Kaufman)离子铣蚀刻、氟基气体多晶硅蚀刻、氯基或溴基气体硅深蚀刻、......
应用电子枪蒸发纯Ge,考夫曼离子源辅助的方法在Ge基底上沉积了Ge1-xCx薄膜.制备过程中,Ge作为蒸发材料,CH4作为反应气体.通过改变C......
考夫曼离子源以结构简单、工作参数大范围可调等优点广泛应用于材料改性技术中。在实际生产中,考夫曼离子源存在着这样的问题：结构......
随着人类社会的高速发展已经导致了越来越严重的环境污染问题，其中生活废水排放量大、成分复杂、难降解物质多。传统的处理方法包括......
根据紫外光学系统的设计要求，在K9基底上研制了254nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论，通过针法优化，获......
