除氢工序相关硕士博士期刊学术论文

氢引起微波芯片性能退化，降低沟道载流子的浓度，改变金属栅与半导体接触的肖特基势垒，密封腔内氢反应生成水，氢致裂纹，金属被氢化：通过优......