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该文介绍了两种新颖的微机械传感器-谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器的制作工艺和测试结果,研究表明该传感器工艺简单易控,适......
该文采用了当前最为先进的微机械加工技术.利用牺牲层方法,结合半导体平面工艺,设计制出了一种具有栅型结构的惯性敏感电容.通过有......
本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点,并对其封装样品作了简要的叙述。给出了用于±g,线性......
详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计.通过结构建模以及模型仿......
“叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点,成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工......
利用MEMS(Micro-electro—mechanical-system)技术,设计、研制了一种静电伺服型的“叉指”结构微加速度表。微加速度表量程-70~70g,全量......