静电致动器相关论文
本文主要围绕MEMS器件,包括电容式压力传感器,电容式加速度传感器,微机械陀螺,光开关等,进行了器件的设计、模拟和测试等相关工作.......
目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术，以便能产生下一代光学网络标准组件，即全光开关。在该领域，微电子机械系统具有很大的......
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影......
